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單晶硅片的加工工藝是什么你可知曉?接下來(lái)就為大家講解

更新時(shí)間:2022-07-12      點(diǎn)擊次數(shù):922
   單晶硅片是一種具有基本完整的點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)的晶體。不同的方向具有不同的性質(zhì),是一種良好的半導(dǎo)材料。純度要求達(dá)到99.9999%,甚至達(dá)到99.9999999%以上。用于制造半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池等。用高純度的多晶硅在單晶爐內(nèi)拉制而成。
  單晶硅是一種比較活潑的非金屬元素,是晶體材料的重要組成部分,處于新材料發(fā)展的前沿。其主要用途是用作半導(dǎo)體材料和利用太陽(yáng)能光伏發(fā)電、供熱等。由于太陽(yáng)能具有清潔、環(huán)保、方便等諸多優(yōu)勢(shì),近三十年來(lái),太陽(yáng)能利用技術(shù)在研究開發(fā)、商業(yè)化生產(chǎn)、市場(chǎng)開拓方面都獲得了長(zhǎng)足發(fā)展,成為世界快速、穩(wěn)定發(fā)展的新興產(chǎn)業(yè)之一。
  那么單晶硅片的加工工藝是什么你可知曉?接下來(lái)就為大家講解:
 ?。?)加料:將多晶硅原料及雜質(zhì)放入石英坩堝內(nèi),雜質(zhì)的種類依電阻的N或P型而定。雜質(zhì)種類有硼,磷,銻,砷。
 ?。?)熔化:加完多晶硅原料于石英堝內(nèi)后,長(zhǎng)晶爐必須關(guān)閉并抽成真空后充入高純氬氣使之維持一定壓力范圍內(nèi),然后打開石墨加熱器電源,加熱至熔化溫度(1420℃)以上,將多晶硅原料熔化。
 ?。?)縮頸生長(zhǎng):當(dāng)硅熔體的溫度穩(wěn)定之后,將籽晶慢慢浸入硅熔體中。由于籽晶與硅熔體場(chǎng)接觸時(shí)的熱應(yīng)力,會(huì)使籽晶產(chǎn)生位錯(cuò),這些位錯(cuò)必須利用縮頸生長(zhǎng)使之消失掉??s頸生長(zhǎng)是將籽晶快速向上提升,使長(zhǎng)出的籽晶的直徑縮小到一定大?。?-6mm)由于位錯(cuò)線與生長(zhǎng)軸成一個(gè)交角,只要縮頸夠長(zhǎng),位錯(cuò)便能長(zhǎng)出晶體表面,產(chǎn)生零位錯(cuò)的晶體。
 ?。?)放肩生長(zhǎng):長(zhǎng)完*之后,須降低溫度與拉速,使得晶體的直徑漸漸增大到所需的大小。
 ?。?)等徑生長(zhǎng):長(zhǎng)完*和肩部之后,借著拉速與溫度的不斷調(diào)整,可使晶棒直徑維持在正負(fù)2mm之間,這段直徑固定的部分即稱為等徑部分。單晶硅片取自于等徑部分。
 ?。?)尾部生長(zhǎng):在長(zhǎng)完等徑部分之后,如果立刻將晶棒與液面分開,那么熱應(yīng)力將使得晶棒出現(xiàn)位錯(cuò)與滑移線。于是為了避免此問(wèn)題的發(fā)生,必須將晶棒的直徑慢慢縮小,直到成一尖點(diǎn)而與液面分開。這一過(guò)程稱之為尾部生長(zhǎng)。長(zhǎng)完的晶棒被升至上爐室冷卻一段時(shí)間后取出,即完成一次生長(zhǎng)周期。
  以上便是單晶硅片的加工工藝所在,希望對(duì)你有所幫助!如果還有什么不了解的可以直接聯(lián)系我們客服!
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